滑道式PECVD系统
- 名称：滑道式PECVD系统
- 类型：高温管式炉
- 规格：
- 温度：℃
咨询热线：132-3399-7675
产品详细
电炉介绍：滑道式PECVD系统由PT-1200T管式炉加热系统、真空系统、质量流量计供气系统、等离子射频电源系统组成。借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
电炉应用：
该系统广泛应用于沉积高质量SiO2薄膜、Si3N4薄膜、金刚石薄膜、硬质薄膜、光学薄膜和炭纳米管（CNT）等。
电炉参数：
| 电炉名称 | 滑道式PECVD系统 |
| 滑轨管式炉部分 | |
| 电炉型号 | STR-TF1200-S6044-STR-Z |
| 加热区长度 | 440mm |
| 炉管直径 | 直径60mm |
| 工作温度 | ≦1100℃ |
| 设计温度 | 1200℃ |
| 测温元件 | K型热电偶 |
| 温控系统 | PID微电脑可编程自动控制 |
| 控温精度 | ±1℃ |
| 温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
| 升温速率 | 0-20ºC/min |
| 加热元件 | 高电阻电热合金丝OCr27A17Mo |
| 工作电压 | AC220V单相50HZ |
| 滑轨设计 | 能实现快速升降温 |
| 炉膛材料 | 采用多晶纤维炉膛材料，材料保温性能好、反射率高、温场均衡 |
| 密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好 |
| 炉 管 | 高纯石英管 |
| 法兰 | 不锈钢法兰，方便拆卸，放取材料 |
| 炉壳温度 | ≤45℃ |
| 真空系统部分 | |
| 名称 | 高真空分子泵组 |
| 主要参数 | 真空泵极限真空度10-3pa（包含KF25接口和可移动箱体） |
| 真空计测量范围 | 其测量范围为1×105--1×10-5pa |
| 气路系统部分 | |
| 名称 | 四路质量流量计 |
| 气路 | 四路 |
| 流量控制 | 每路气体含有针阀单控制 |
| 流量计 | 质量流量计 |
| 流量范围 | 0-1000sccm可调 |
| 工作环境温度 | 5℃-45℃ |
| 等离子电源系统 | |
| 匹配功率范围 | 0-500W |
| 工作频率 | 13.56MHZ+0.005% |
| 正常工作反射功率 | ＜3W |
| 匹配时间 | ＜3S |
| 传输效率 | ＞90% |
| 匹配器电源 | AC220V/50-60HZ |
| 输入连接器 | N型 |
| 输出连接器 | UHF |
| 控制模式 | 手动/自动 |
| 可设预置点数 | 7 |
| 认证 | ISO认证、CE认证 |
| 售后服务 | 质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围） |
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重要提示
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