1200℃双温区CVD系统

设备名称

1200℃双温区CVD系统

系统型号

 TF80-12II-3

TF80-12II6-3

极限温度

1200℃

加热区长度

420mm

600mm

恒温区长度

280mm

390mm

温区

双温区

双温区

石英管管径

Φ50/Φ60/Φ80mm

Φ80/Φ100mm

额定功率

3.2Kw

4.8Kw

额定电压

220V

温度控制

国产程序控温系统50段程序控温；

控制精度

±1℃

炉管工作温度

＜1200℃

气路法兰

密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需在初次使用设备的时候安装

气体控制方式

质量流量计

气路数量

3路（可根据具体需要选配气路数量）

流量范围

0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标定

精度

±1%F.S

响应时间

≤4sec

工作温度

5-45℃

工作压力

进气压力0.05-0.3Mpa(表压力）

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

高真空

系统真空范围

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真空分子泵理论极限真空度5x10-6Pa抽气速度1200L/S额定电压220V    功率2KW

真空分子泵理论极限真空度5x10-6Pa抽气速度1600L/S额定电压220V  功率2KW

炉体外形尺寸

340×580×555mm

480×770×605mm

系统外形尺寸

530x1440x750mm(不含高真空)

系统总重量

330kg