STR-RTF80-10滑轨式快速退火炉为1200℃滑轨式快速退火炉,滑轨式管式炉炉管两端安装有水冷式真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr, 机械泵可到10-3Torr。采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得炉体表面温度小于60℃。
STR-RTF80-10滑轨式快速退火炉炉底安装一对滑轨,可用手动滑动也可定制电动滑动。加热和 冷却速率可达100℃/min。为取得快速加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得快速冷却效果,可在样品加热后移动炉 子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10℃/S,为实验室常用热处理设备。
高温快速热处理退火炉主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长,其它快速热处理工艺。
1、采用进口钨灯管为发热元件,升温速度高达200℃/s;
2、炉膛材料采用进口陶瓷纤维,内有进口氧化铝涂层,抗热冲击;
3、保护管采用高纯石英管 ,可冲入多种气体;
4、石英管两端采用不锈钢密封法兰,耐高温、耐腐蚀;
5、滑轨采用铝合金超静音滑道;
6、炉体采用双层空气隔热技术,配有自动冷却风扇,降低炉体外壳温度;
电炉名称 |
单位 |
|||
STR-RTF50-10 |
STR-RTF60-10 |
STR-RTF80-10 |
||
额定功率 |
kw |
9 |
9 |
9 |
额定电压 |
v |
220 |
220 |
220 |
设计温度 |
℃ |
1000 |
1000 |
1000 |
工作温度 |
℃ |
≤950 |
≤950 |
≤950 |
相数 |
相 |
三 |
三 |
三 |
加热区 |
mm |
350 |
350 |
350 |
石英管 |
直径 |
Φ50 |
Φ60 |
φ80 |
长度 |
L=1300 |
L=1300 |
L=1300 |
|
气体流量 |
L/min |
0~7 |
0~7 |
0~7 |
炉膛材料 |
|
进口纤维 |
进口纤维 |
进口纤维 |
滑轨长度 |
mm |
1350 |
1350 |
1350 |
真空度 |
可选机械泵(6.67pa)或扩散泵(6.67*10-2) |
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标配件 |
高温钩,高温堵头,石英舟,高温手套。 |
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