电炉名称 | 定制旋转PECVD系统 |
滑轨管式炉部分 | |
电炉型号 | STR-TF1200-S80-DZPECVD-R |
炉管尺寸 |
80*长度1600mm 可选其他直径Φ50,60,80,100,120,150mm |
炉管材质 | 石英管 |
加热区 | 单温区,温区长度400mm |
工作温度 | 1100℃ |
设计温度 | 1200℃ |
温控方式 | K型热电偶 |
控制方式 | 触屏控制 |
控温精度 | ±1℃ |
温控保护 | 具有超温和断偶保护功能 |
升温速率 | 0-20ºC/min可调 ,建议10ºC/min |
加热元件 | 含钼电阻丝 |
工作电压 | AC220V单相50HZ(电路电压用户可选择定制) |
加热功率 | 3KW |
炉膛材料 | 氧化铝多晶纤维 |
法兰接头 | 标配配有不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀 |
密封系统 | 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,磁流体密封,气密性好可实现炉管旋转过程中的高真空。 |
真空系统部分 | |
主要参数 | 采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa |
气路系统部分 | |
名称 | 四路质量流量计(量程可选) |
等离子电源部分 | |
功率范围 | 0-500W(连续可调) |
售后服务 | 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围) |
更多规格可根据客户需求定制 |
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