定制旋转PECVD系统-骨灰晶钻制作设备厂家

定制旋转PECVD系统

  • 名称:定制旋转PECVD系统
  • 类型:高温管式炉
  • 规格:
  • 温度:

咨询热线:132-3399-7675

产品详细

定制旋转PECVD系统 电炉用途:
广泛应用于生长纳米或石墨烯材料,是科研机构和大学实验室的理想电炉。

电炉介绍:
该设备是一款定制的PECVD系统,增加了倾斜、旋转功能。该系统包含等离子射频电源,高温管式炉,4通道质量流量供气系统和分子泵机组。可用于生长纳米或石墨烯材料。

技术参数:
电炉名称 定制旋转PECVD系统
滑轨管式炉部分
电炉型号 STR-TF1200-S80-DZPECVD-R
炉管尺寸 80*长度1600mm
可选其他直径Φ50,60,80,100,120,150mm
炉管材质 石英管
加热区 单温区,温区长度400mm
工作温度 1100℃
设计温度 1200℃
温控方式 K型热电偶
控制方式 触屏控制
控温精度 ±1℃
温控保护 具有超温和断偶保护功能
升温速率 0-20ºC/min可调 ,建议10ºC/min
加热元件 含钼电阻丝
工作电压 AC220V单相50HZ(电路电压用户可选择定制)
加热功率 3KW
炉膛材料 氧化铝多晶纤维
法兰接头 标配配有不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统 该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,磁流体密封,气密性好可实现炉管旋转过程中的高真空。
真空系统部分
主要参数 采用高真空分子泵组,炉管内真空度可达10-3pa
气路系统部分
名称 四路质量流量计(量程可选)
等离子电源部分
功率范围 0-500W(连续可调)
售后服务 质保一年,终身保修(耗材类:高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围)
更多规格可根据客户需求定制

 

 


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本页标题:定制旋转PECVD系统

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2024-12-26 07:00:00 来自APP

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2019-04-30 来自APP

2021-05-19 13:43:11 客服回复 :

骨灰晶石制作设备-骨灰加工晶石的设备生产厂家生产的℃高温管式炉质量可靠,售后贴心服务更是让人满意。该高温设备操作简便。运行稳定

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