一套cvd钻石设备多少钱

微波系统（法国Sairem 微波源）

微波频率

2450±25MHz

输出功率

0.6kw~6kw 连续可调

微波调谐

三销钉调配器，模式转换天线

微波反射保护

环形器，水负载

微波工作模式

TM013

微波泄漏

≤ 2 mw/cm2

真空系统

工作气压范围

10~250Torr

自动稳压范围

40~250Torr

真空泵

4.4L/s 旋片式真空泵

系统漏率

<1.0x10-9 Pa・m3 /秒 (通过氦质谱检漏仪检测)

腔体保压能力

每24 小时压升小于0.2 乇

本底极限真空

0.1Pa（7.5 x10-4 Torr)

真空测量

品牌薄膜规

真空反应腔

反应腔材料及结构

双层水冷不锈钢反应腔

真空密封

金属密封+氟胶圈密封(取样门)

反应腔内径

直径140mm

样品台窗口

105x50mm 长方形端口，带O 形氟橡胶圈密封的前门

观察窗口

两个端口，CF35 大口径，180°分布

测温窗口

两个窗口水平角度25~30°，180°分布；窗口方便从反应腔上部的

斜角向下检测样品台的温度

样品台

电动升降式水冷基片台

直径100mm，高度可调范围0～70mm

钼基片台直径≥50mm，在5000w, 180Torr 工作状态，等离子体火球可覆盖

整个基片台

基片台温度 250～1400℃（取决于工艺参数）

气路

选用日本进口流量计及流量控制阀

系统自带四路MFC

四路MFC *大流速：H2: 1000sccm，CH4：100sccm，O2：20sccm，N2：2sccm

测温系统

德国Raytek 红外测温系统，测温范围：300~1300 摄氏度

系统软件

配置PLC 控制的15“触摸显示屏，用户操作界面友好，所有操作均可在触摸

屏上完成

系统支持工程师和操作员两个用户级别，提供用户权限管理功能

系统自带缺水，缺气，电源缺相，火球跳变，过温过载，打火等自动保护

可设置多达10 套工艺配方，每套配方有40 行数据，生产流程通过工艺配方自

动控制，工艺数据可通过U 盘备份导出

系统自带全自动抽气，点火，升温，降温等预设流程，用户操作简便

全自动温度控制，气压控制，极大减轻系统操作员的工作量