箱式化学气相沉积系统

型号

STR-M1200-Z

STR-M1400-Z

STR-M1700-Z

设计温度

1200℃

1400℃

1700℃

工作温度

1100℃

1300℃

1600℃

加热元件

含钼电阻丝

质硅碳棒

质硅钼棒

升降方式

底部液压升降

热电偶

K型

S型

B 型

炉膛尺寸

150x150x150

300x300x300

500x500x500

200x200x200

300x300x400

600x600x600

200x200x300

400x400x400

800x800x800

炉膛材质

氧化铝陶瓷纤维

氧化铝陶瓷纤维

氧化铝陶瓷纤维

加热速度

0-20℃/min

0-10℃/min

0-10℃/min

温控精度

±1℃

±1℃

±1℃

供电电源

110-415V，50/60Hz

110-415V，50/60Hz

110-415V，50/60Hz

其他规格可以按照客户要求定制

选配

坩埚、触屏控温、电脑温控软件等

注意事项

1.为了提升炉组件的寿命,建议升温速率不超过10℃/min。

2.冷却速率应不超过5℃/min。

3.该炉无真空密封性，禁止通入有毒或爆炸性气体。

4.在炉膛的表面上可能会出现小裂纹。这是一个正常的现象，不影响正常使用，裂纹可以用氧化铝涂层修复。

5.加热炉膛可更换

6.若燃烧物料释放蒸气或冒烟，请将炉膛放入通风柜内操作。