大口径CVD管式炉-骨灰晶钻制作设备厂家

大口径CVD管式炉

  • 名称:大口径CVD管式炉
  • 类型:高温管式炉
  • 规格:
  • 温度:

咨询热线:132-3399-7675

产品详细

大口径CVD管式炉 电炉介绍:
STR-TF1200大口径CVD管式炉是一种具有60mm直径石英管,真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的可拆分管式炉。 它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。

电炉用途:
广泛用于各种反应温度在1100℃左右的CVD实验,也可用于:真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。

电炉参数:
型号 STR-TF1200-CVD
显示 液晶显示屏
一第部分
炉膛 分体式和上部可以打开
设计工作温度 1100°C
加热速率 建议:0〜10℃/ min(设计20℃/ min)
加热温区 500mm
加热元件 钼电阻丝
温度控制精度 ±1℃
炉管尺寸 外径200mm X长度1200mm
供电电源 380V,50HZ
功率 20KW(功率以实际设计为准)
温度控制器 30段高精度数字可编程温度控制器
第二部分混气系统七星华创
量程
MFC1 H2 0-200sccm 氢气
MFC2 NH3 0-200sccm 氨气(D07-26C 即可,但是需要特殊要求耐氨的)
MFC3 SiH4 0-200sccm 硅烷(CS200A硅烷专用流量计
LCD触摸屏
第三部分电阻硅真空计
第四部分 射频电源
更多规格可根据需求定制


 

 


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本页标题:大口径CVD管式炉

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2024-12-26 07:00:00 来自APP

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2019-04-30 来自APP

2021-05-19 13:43:11 客服回复 :

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