RTP红外灯管加热管式炉

电炉概述：
STR-RTP1100-100IC滑轨式管式炉是一款精巧型快速热处理管式炉，配有石英管和真空法兰， 它是专为半导体或太阳能电池基片（设计大达3“）的退火而设计，采用红外灯管加热，升温速度可达400℃/分钟， 30段温度控制，精度为±1°C。

电炉特点：
1.温度均匀性好
2.过温保护和报警
3.通过SCR功率控制进行PID自动控制

技术参数：

标准配件：

刚玉炉管×1	真空法兰×1	防烫罩×2
高温手套×1	坩埚钩×1	热电偶×1
刚玉坩埚×2	炉塞×2	中文说明书×1

注：坩埚可按用户需求选配合适的款型

可选配件：

液晶触摸控制仪

1．实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2．工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线，保存于触摸屏内，带密码保护功能，可一次性编制多条曲线。
3．具备断电记忆功能，查询已完成的工艺阶段。
4．现场操作人员需要调用某条温控曲线时，直接输入曲线序列号即可调用该条曲线，简单方便，杜绝错误发生。
5．具备多组历史数据记录功能。
6．具备同时显示多段温度及时间功能。

多路质子流量计

1．气体从钢瓶出来，经过减压阀减压，通过四氟管到供气系统的入口，再经过质子流量计控制气体流量，然后经过混气罐，再进入炉子进气口，气体从出气管出来，经过三通阀门，一端连接真空泵，一端连接出气口。
2．混气罐上接有压力表，压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3．每一条气体管路均有一个高压截止阀，安全有保证。
4．该气路采用高精度气体浮子流量计，气路内部全采用四氟管，耐腐蚀性好。
5．所有接头采用卡套连接，气密性好，耐压高。 。

耐高温真空泵

该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计，大幅度降低泵的表面温升；采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油，更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封，确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计，零部件少，重复性好，外形紧凑，便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油，即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计，有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染；该电炉还设计有两档气镇，可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。