电炉名称 | 1200°C特殊4管箱式炉 |
型号 | STR-TF1200-TBD5 |
一第部分:加热部分 | |
设计温度 | 1200°C |
使用温度 | 1100°C |
加热区(箱式腔体) | 500*500*500 分成3温区立控温 |
控温精度 | ±1°C |
炉管 | 石英管 外径160mm 内径150mm 厚度 5mm 长度1000mm |
法兰结构 |
侧为带阀门的不锈钢水冷真空法兰,另一侧为水冷铰链式真空法兰。 包括气动开关阀,与 PSV 和 MFC 相连(当压力超过 1 bar 时,MFC 和炉子都应关闭,PSV 释放高压。(法兰承压0.1mpa) |
电源电压 | 220V--380V 50Hz 3相(一地一零三火) |
第二部分:真空部分 | |
真空泵 | VRD-8旋片泵抽速2.2L/s真空泵+挡板阀 |
第三部分:气路部分---4路质量流量计(带电脑控制) | |
质量流量计 |
MFC1: 0-2000SCCM H2 MFC1: 0-2000SCCM CO2 MFC1: 0-2000SCCM CH4 MFC1: 0-2000SCCM Ar 所有管路用不锈钢管,流量计带电脑控制 |
气路预热部分 | 混气出口与炉子进气口加装1/4”不锈钢盘管结构,温度控制在100-200度; |
更多参数可根据要求定制 |
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