STR-1200T-S6015YZ1-H系列快速退火炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率设计大可达100°C/m。为取得设计快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得设计快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的理想炉子。
可选择单设定点或30段可编程控制器。节能型的陶瓷纤维材料和双层结构,可将外表温度降到常温。均温区长,操作简便,密封可靠,综合性能指标较高,处于国内水平。 炉管可选择配置耐热钢、石英玻璃、陶瓷管等材料。
可在真空\不同气氛\空气不同环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
电炉名称 | 单管滑动式快速退火炉 |
电炉型号 | STR-1200T-S6015YZ1-H |
炉管尺寸 |
Φ60mmX1500mm |
温区长度 |
440mm(更多规格可按照客户要求定制) |
恒温区长 | 260mm |
工作温度 |
1100℃ |
设计温度 |
1200℃ |
温控系统 |
30段PID微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示) |
控温精度 |
±1℃ |
温控保护 |
具有超温和断偶保护功能 |
加热速率 |
0~20℃/分 |
加热元件 |
合金加热丝 |
工作电压 |
AC220V单相50HZ (电路电压用户可选择定制) |
设计功率 |
3KW |
气 密 性 | 4.03×10-3Pa |
炉膛材料 |
采用日本进口炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强 |
滑轨尺寸 | 镀Cr厚钢板做的双向滑轨滑动长度:1200mm |
法兰接头 |
标配配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀。 |
密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。 |
炉 管 | 可选气炼石英炉管、刚玉炉管 |
测温元件 |
K型热电偶测温 |
炉壳温度 | ≤45℃ |
净 重 |
80KG |
提供相关配件 |
气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、炉塞、说明是等其他配件用户可选配 |
可选配件 | 热电偶、刚玉坩埚 |
电气认证 | CE认证 |
售后服务 | 12个月质保、终身保修 |
标准配件:
气炼石英炉管×1 | 真空法兰×1 | O型胶圈×4 |
高温手套×1 | 坩埚钩×1 | 热电偶×1 |
内六方扳手×2 | 炉塞×2 | 中文说明书×1 |
1.实现烤箱/电炉的升温、保温、降温工艺过程全自动。
2.工艺人员可以将几段程序编制成1条控温曲线,保存于触摸屏内,带密码保护功能,可一次性编制多条曲线。
3.具备断电记忆功能,查询已完成的工艺阶段。
4.现场操作人员需要调用某条温控曲线时,直接输入曲线序列号即可调用该条曲线,简单方便,杜绝错误发生。
5.具备多组历史数据记录功能。
6.具备同时显示多段温度及时间功能。
1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。
2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘与质子流量计安装在同一面板上。
3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。
4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。
5.所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。。
该耐高温真空泵采用内置风扇和大面积散热的风冷设计,大幅度降低泵的表面温升;采用耐高温密封圈和进口耐高温泵油,更加适合真空管式炉的高温使用环境。采用进口原装油封,确保整机长期运行时的可靠密封。泵体采用一体化设计,零部件少,重复性好,外形紧凑,便于保养和维修。此外还内置有齿轮泵和恒压供油机构强制供油,即便在高吸气压强下也能稳定可靠地运行。自动防返油阀设计,有效的保护了你的真空系统在停机后免受泵油的污染;该电炉还设计有两档气镇,可满足不同工艺对蒸汽排出量的需求。
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