产品详情

电炉介绍:
六通道高真空PECVD系统是一款由1200度管式炉，等离子射频电源，分子泵高真空，六通道气路等组成的等离子化学气相沉积系统，加热腔体采用氧化铝纤维制品，其极低的热导率和比热容，保证了炉膛的快速升温和低蓄热，特别适合于科研单位的材料工艺研究。

使用范围：
可应用于纳米材料生长，石墨烯生成、金属薄膜，陶瓷薄膜等，复合薄膜等各种薄膜等，可制备出高质量的透明导电膜,用作手机触摸屏,平板电脑,智能穿戴,传感器等领域。

技术参数：

电炉名称	六通道高真空PECVD系统(CE认证)
管式炉部分
电炉型号	STR-TF1200-S60-6ZH-PE
炉管尺寸	Φ60mmX1400mm
炉管材质	石英管
加热区	400mm
工作温度	1100℃
设计温度	1200℃
温控方式	K型热电偶
控制方式	30段可编程序控温
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20ºC/min ，建议10ºC/min
加热元件	含钼电阻丝
工作电压	AC220V单相50HZ（电路电压用户可选择定制）
加热功率	3KW
炉膛材料	氧化铝多晶纤维
法兰接头	标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。
选配	辅助降温风扇
真空系统部分
名称	真空系统
主要参数	1.采用高真空分子泵组，极限真空度可达10-3pa 2.KF25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连； 3.数字式真空显示，其测量范围为5×10-5- 1500mbar，测量精度高高
气路系统部分
名称	六路质量流量计
主要参数	六通道精密质量流量计：触屏控制，数字显示，自动控制。流量范围流量范围： 1.MFC 1-MFC6：0-1000sccm可调 2.一个混气罐 3.6个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制6种气体； 4.进出气口：6进1出 流量控制：手动旋转式调节 连接方式：双卡套连接
等离子电源部分
名称	500W等离子电源
功率范围	0-500W（连续可调）
工作频率	13.56MHZ+0.005%
工作模式	连续输出
射频输出阻抗接口	N-type,female（50Ω）
功率稳定度	≤2W
设计大反射功率	70W
电源保护设置	YZ过流保护，功放过温保护，反射功率保护
供电电压/频率	单相交流（187V-253V）50-60HZ
冷却方式	风冷
整机尺寸	88X483X550 MM
整机重量	13.5KG
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）
更多规格可根据要求来定制

 

 

TAG:六通道高真空PECVD设备 
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