产品详情

电炉介绍：
该设备是一款带有预热系统的滑动PECVD系统。该系统包含等离子射频电源，预热炉，滑动式管式炉，4通道质量流量供气系统和旋片泵组成。可用于生长纳米或CVD方法来制作各种薄膜。

电炉用途：
是应用于生长纳米线或用CVD方法来制作各种薄膜的一款新的探索工具。


技术参数：

电炉名称	带预热系统滑动式PECVD设备
滑轨管式炉部分
电炉型号	STR-TF1200-S06LC-YR
炉管尺寸	60*长度1600mm 可选其他直径Φ50，80，100，120，150mm
炉管材质	石英管
加热区	双温区，每个温区长度200mm
工作温度	1100℃
设计温度	1200℃
温控方式	K型热电偶
控制方式	触屏控制
控温精度	±1℃
温控保护	具有超温和断偶保护功能
升温速率	0-20ºC/min可调 ，建议10ºC/min
加热元件	含钼电阻丝
工作电压	AC220V单相50HZ（电路电压用户可选择定制）
加热功率	3KW
炉膛材料	氧化铝多晶纤维
炉体结构	炉体带滑轨，可实现快速升温和降温
法兰接头	标配配有两个不锈钢真空法兰，已安装机械压力表和不锈钢截止阀
密封系统	该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸，气密性好。
预热炉
主要参数	设计温度1100度 ，多段程序控温，可将固体和液体原料放在预热炉中，气化后与气体原料相混合
真空系统部分
主要参数	采用机械，可实现炉管内的真空
气路系统部分
名称	四路质量流量计（量程可选）
等离子电源部分
功率范围	0-500W（连续可调）
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等及人为损坏不属于质保范围）
更多规格可根据客户需求定制

 

 

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