STR-RTF80-10滑轨式快速退火炉
- 品牌：SGM
- 类型：高温电炉系列
- 温度：1200
- 规格：STR-RTF80-10
产品详情
STR-RTF80-10滑轨式快速退火炉为1200℃滑轨式快速退火炉，滑轨式管式炉炉管两端安装有水冷式真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr， 机械泵可到10-3Torr。采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得炉体表面温度小于60℃。
STR-RTF80-10滑轨式快速退火炉炉底安装一对滑轨，可用手动滑动也可定制电动滑动。加热和 冷却速率可达100℃/min。为取得快速加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得快速冷却效果，可在样品加热后移动炉 子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10℃/S,为实验室常用热处理设备。
用途范围：
高温快速热处理退火炉主要用于离子注入后快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火、氧化物生长，其它快速热处理工艺。
电炉结构：
1、采用进口钨灯管为发热元件，升温速度高达200℃/s;
2、炉膛材料采用进口陶瓷纤维，内有进口氧化铝涂层，抗热冲击；
3、保护管采用高纯石英管 ，可冲入多种气体；
4、石英管两端采用不锈钢密封法兰，耐高温、耐腐蚀；
5、滑轨采用铝合金超静音滑道；
6、炉体采用双层空气隔热技术，配有自动冷却风扇，降低炉体外壳温度；
主要技术参数：
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电炉名称 |
单位 |
|||
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STR-RTF50-10 |
STR-RTF60-10 |
STR-RTF80-10 |
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额定功率 |
kw |
9 |
9 |
9 |
|
额定电压 |
v |
220 |
220 |
220 |
|
设计温度 |
℃ |
1000 |
1000 |
1000 |
|
工作温度 |
℃ |
≤950 |
≤950 |
≤950 |
|
相数 |
相 |
三 |
三 |
三 |
|
加热区 |
mm |
350 |
350 |
350 |
|
石英管 |
直径 |
Φ50 |
Φ60 |
φ80 |
|
长度 |
L=1300 |
L=1300 |
L=1300 |
|
|
气体流量 |
L/min |
0~7 |
0~7 |
0~7 |
|
炉膛材料 |
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进口纤维 |
进口纤维 |
进口纤维 |
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滑轨长度 |
mm |
1350 |
1350 |
1350 |
|
真空度 |
可选机械泵（6.67pa）或扩散泵（6.67*10-2） |
|||
|
标配件 |
高温钩，高温堵头，石英舟，高温手套。 |
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TAG:1200℃快速退火炉 1200度滑轨式快速退火炉
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