产品详情

电炉介绍：
该系统是一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究。通过滑动炉子可以实现物料的快速加热和冷却。
技术参数：

电炉名称	1200℃双管滑道式CVD系统
一第部分： 1200度滑道双管双温区管式炉
电炉型号	1200度滑道管式炉
炉管尺寸	双石英管 外管：OD 100 x ID 96 x 1400 mm 内管：OD 80 x ID 75 x 1800 mm
加热区	220+220mm
供电电源	230V，单相，50HZ
功率	4.0 kw
加热元件	电阻丝
升温速率	0-20°C/min
热电偶	K型
第二部分： 水冷系统
法兰	1.水冷机 CW-3000 2.水冷，密封双管的真空法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管.
第三部分 真空系统
真空系统	1.防腐数显真空计 2.VRD-16旋片泵，抽速4L/S,含挡板阀KF25接口，波纹管和箱体
第四部分 混气系统
质量流量计 量程： MFC 1: 0~10 sccm MFC 2: 0~200 sccm MFC 3: 0~10 slm MFC 3: 0~10 slm .......

 

 

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