产品详情

电炉介绍：
该系统以硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点。
结构组成：
定制流化床CVD系统，由真空立式管式炉、供气系统、真空系统、真空测量系统组成。
技术参数：

电炉名称	定制流化床CVD系统
电炉型号	STR-CVD-DZ
立式管式炉
炉膛模式	立式开启式
炉膛材料	进口氧化铝耐火纤维
加热元件	质硅碳棒
极限温度	1400℃
工作温度	≤1300℃
升温速率	≤20℃(建议:15℃/min)
加热温区	单温区、多温区
温区总长度	200、300、440
炉管材质	高纯石英管、刚玉管
炉管直径	40、50、60、80、100mm......
密封方式	304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈)
控制模式	多段智能PID程序控温预留通讯接口
控温精度	±1℃
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	K型热电偶
气路系统
工作电压	220V/50HZ
设计大输出功率	18W
工作温度	5--45℃
气体通道	可同时连接多种气源
流 量 计	质量流量计
A路量程	0～500SCCM
B路量程	0～500SCCM
C路量程	0～500SCCM
.....	.....
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
数显真空计及连接件
数显真空计	数显真空计安装在不锈钢法兰上
真空泵组(相关连接配件)
真空泵	真空泵,及相应连接管件220V/50HZ
认证	ISO认证、CE认证
售后服务	质保一年，终身保修（耗材类：高温密封圈、炉管、加热元件等不属于质保范围）

 

 

TAG:定制流化床CVD系统 
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