1000度炉体可滑动管式炉是一款实验室用小型快速热处理管式炉, 是CVD法生长大尺寸二维石墨烯的常用设备,可用于半导体或太阳能电池基片的退火而设计,采用红外灯管加热,升温速度可达 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 ±1°C°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
1100℃炉体可滑动管式炉炉管两端安装真空法兰,真空度用分子泵可以到10-5Torr,机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨,可用手动滑动。加热和冷却速率可达50°C/min。为取得较快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得较快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s,是低成本快速热处理的高温炉子。
采用智能温控仪表控温,30段可编程控制器;炉膛为氧化铝陶瓷纤维材料;双层壳体结构配有风扇,维持炉表低温。均温区长,操作简便,密封可靠,综合性能指标较高,处于国内领先水平。 炉管可选择配置不锈钢耐热钢、石英玻璃、刚玉陶瓷管等材料。
可在真空不同气氛空气不同环境下,对样品进行快速热处理,主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,如:薄膜沉积,不同材料快速退火、硅化、扩散、晶化和致密化等。
电炉名称 | 炉体可滑动管式炉 |
电炉型号 | SGM-TF50-11 |
炉管尺寸 |
Φ60mmX1500mm |
温区长度 |
440mm(更多规格可按照客户要求定制) |
恒温区长 | 260mm |
工作温度 |
1100℃ |
设计温度 |
1200℃ |
温控系统 |
30段PID微电脑可编程自动控制(用户可选配液晶触摸屏显示) |
控温精度 |
±1℃ |
温控保护 |
具有超温和断偶保护功能 |
加热速率 |
0~20℃/分 |
加热元件 |
合金加热丝 |
工作电压 |
AC 220V 单相 50HZ (电路电压用户可选择定制) |
设计功率 |
3KW |
气 密 性 | 4.03×10-3Pa |
炉膛材料 |
采用炉膛材料,不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡,抗热涨冷缩能力强 |
滑轨尺寸 | 双向滑轨滑动长度:1200mm |
法兰接头 |
配有两个不锈钢真空法兰,已安装机械压力表和不锈钢截止阀。 |
密封系统 |
该炉炉管与法兰之间采用硅胶O型圈挤压密封、撤卸方便、可重复撤卸,气密性好、可保证12小时压力表指针不偏转。 |
炉 管 | 可选气炼石英炉管、刚玉炉管 |
测温元件 |
K型热电偶测温 |
炉壳温度 | ≤45℃ |
净 重 |
80KG |
提供相关配件 |
气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、炉塞、说明是等其他配件用户可选配 |
可选配件 | 热电偶、刚玉坩埚 |
售后服务 | 12个月质保、终身保修 |
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