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1200°C特殊4管箱式炉

  • 品牌:SGM
  • 类型:高温电炉系列
  • 温度:
  • 规格:

产品详情

1200°C特殊4管箱式炉 电炉介绍:
1200°C特殊4管箱式炉是一款定制炉型,由箱式炉与管式炉共同组成,可以实现3温区立控温,法兰承压0.1mpa,可长时间工作1100度。

电炉特点:
1、流量计混气出口和进气口中间加装气动阀,当炉管压力超过1bar时,可实现自己关闭流量计以及炉子停止工作,泄压阀自动打开排气。
2、超温报警,超流保护,开门断电,断偶报警

电炉参数:

电炉名称 1200°C特殊4管箱式炉
型号 STR-TF1200-TBD5
一第部分:加热部分
设计温度 1200°C
使用温度 1100°C
加热区(箱式腔体) 500*500*500 分成3温区立控温
控温精度 ±1°C
炉管 石英管 外径160mm 内径150mm 厚度 5mm 长度1000mm
法兰结构 侧为带阀门的不锈钢水冷真空法兰,另一侧为水冷铰链式真空法兰。
包括气动开关阀,与 PSV 和 MFC 相连(当压力超过 1 bar 时,MFC 和炉子都应关闭,PSV 释放高压。(法兰承压0.1mpa)
电源电压 220V--380V 50Hz 3相(一地一零三火)
第二部分:真空部分
真空泵 VRD-8旋片泵抽速2.2L/s真空泵+挡板阀
第三部分:气路部分---4路质量流量计(带电脑控制)
质量流量计
MFC1: 0-2000SCCM H2
MFC1: 0-2000SCCM CO2
MFC1: 0-2000SCCM CH4
MFC1: 0-2000SCCM Ar
所有管路用不锈钢管,流量计带电脑控制
气路预热部分 混气出口与炉子进气口加装1/4”不锈钢盘管结构,温度控制在100-200度;
更多参数可根据要求定制

 

 


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