产品详情

电炉概述：
STR-TF1200 CVD是具有80mm直径氧化铝管真空泵和三通道质量流量计气体流动系统的管式炉。它可以混合1-3种气体用于CVD或扩散。
技术参数：

型号	带有3个MFC气体通道的 STR-TF1200 CVD
显示	发光二极管
设计温度	1200℃短时间
连续工作温度	≤1100℃
加热速率	建议：0〜10℃/ min
温度区	220毫米+220毫米+220毫米
加热元件	钼电阻丝
热电偶	K型
温度控制精度	±1℃
管尺寸	80x1200mm（外径x长）
管座	包括两个纤维状陶瓷块，用于阻止管子内部的热辐射（在加热之前，陶瓷块必须完全插入炉膛中）。
温度控制	通过SCR功率控制进行PID自动控制
程序和斜坡	30步可编程
真空法兰	带阀的不锈钢真空法兰
功率	220V，50 Hz，单相设计大6KW
质量流量计	三种精密质量流量计： MFC 1：气体流量范围为0〜100 sccm MFC 2：气体流量范围为0〜200 sccm MFC 3：气体流量范围为0〜200 sccm （气体流量范围可根据您的要求） 底壳上装有一个气体混合罐，底壳左侧装有3个不锈钢针阀，以手动控制3种气体的混合 下面的照片是4 MFC供参考。3 MFC将带有3个显示器

 

 

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