产品详情

电炉介绍：
该定制RTP快速退火炉是一款RTP (快速热处理) 管式炉、多通道质子流量计系统及真空系统组成，专为半导体基片和太阳能电池或其他样品（尺寸可达3"）退火而设计。 这款设备是采用红外灯加热，设计快升温速度是50℃/秒。 30 段精度温度控制，RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。
技术参数：

电炉名称	定制RTP系统
一第部分： 管式炉
电炉名称	开启式上下温区RTP管式炉
温度	设计1000度
控 制 器	LCD触摸屏
炉管尺寸	石英管 外径80mm/内径72mm 单侧开口
加热区	300mm
炉型	开启式
供电电源	电压：380V； 频率:50 hz；三相
加热元件	卤素灯加热
升温速率	30 C/秒
热 电 偶	K 型热电偶测物料处温度
温度控制器	30段高精度数字可编程温度控制器
第二部分 混气系统
量程	MFC1：氧气（O2）0-200sccm MFC2：氩气（Ar）0-200sccm
第三部分 真空系统
飞越VDR-41L/S+粉尘过滤器配套防腐数显真空计

 

 

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