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电炉介绍：

STR-1200T-S60YZ3-3FZ型CVD管式炉由STR-TF1200管式炉+真空系统+供气系统组成 ，设计温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。

STR-TF1200管式炉采用掺钼合金加热丝为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等点。

应用范围：

STR-1200T-S60YZ3-3FZ型CVD炉是一种特殊的CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想电炉。


规格参数：

高温炉壳体	采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃，内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度
功率	2.5KW
电压	AC208-240V单相,50/60Hz
加热元件	掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其设计大程度延长使用寿命）
设计工作温度	1200℃
连续工作温度	1100℃
设计快升温速率	<=20℃
炉管材质和尺寸	石英管:OD:80mmxID:75mmxLength:1000mm
加热区长度	三温区：200+200+200 mm
恒温区长度	350(+/-1℃)
控温系统	PID30段程序化控温
控温精度	+/-1℃
真空密封系统	两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），设计大漏气率6mtorr/min
真空泵	采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的设计小微粒直径为0.3微米。
数字式真空显示计	数显真空计,已安装在不锈钢法兰上
混气系统	三个质量流量计 三路质量量程分别为 10-100cc/min. 16-160cc/min. 25-250cc/min 内部安装有一混气罐
售后服务	质保一年，终身保修

可选配件：

质量混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、炉塞1对、高温手套1副、说明书1份

 

 

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